2023年3月28日，TOPCon电池新型六篮碱抛及RCA清洗成套装备新产品专家评审及发布会在晶洲装备组织召开，由国家光伏装备工程技术研究中心技术委员会主任，
阿特斯阳光电力集团股份有限公司副总裁张光春先生、苏州大学物理学院苏晓东教授、苏州城市学院副校长高雷教授、常熟理工学院学研处处长刘玉申教授、阿特斯阳光电力集团技术集成高级总监王栩生博士等组成专家评审组，苏州工信局、常熟市工信局、辛庄镇等政府部门领导出席本次评审会，
本着客观、公正、专业、严谨的态度，在听取企业汇报、查阅鉴定资料、核实生产现场、讨论质询评议后，对晶洲新产品作出了评审意见。
评审会开始，由晶洲装备总经理蒋新先生致辞，欢迎各位专家及领导的到来，并代表晶洲全体员工对各位专家和领导在百忙之中莅临晶洲进行新产品评审工作表示衷心的感谢！
成立于2011年的晶洲装备，专注于高端湿制程装备的设计研发与生产，十余年来，晶洲以科技创新作为企业可持续发展的核心动力，始终把握产业和行业发展趋势，成功研发了一批刻蚀带速5米/分钟链式单面刻蚀设备+单批次6花篮通用碱抛设备为代表的新产品、新技术。
晶洲装备技术中心总监施利君为评审组专家及与会领导做了晶洲自主研发TOPCon电池新型六篮碱抛及RCA清洗成套装备的汇报，详细阐述了研发过程、创新点、关键技术指标等。
晶洲自主研发TOPCon电池新型六篮碱抛及RCA清洗成套装备是全国首台此工序大产能量产设备，采用5米/分钟刻蚀带速的链式单面去BSG&PSG设备，同时匹配单批次6花篮槽式碱抛&RCA设备，每小时产能≥16000片（基于182正方片），彻底解决了TOPCon电池湿法工序中，单台制绒与碱抛及RCA设备无法整线对应的产能瓶颈，便于客户生产车间的布局，节省自动化上下料及AGV设备的投入；
该设备采用多项晶洲自主研发的独创设计，在提升设备产能的同时，降低设备单耗、能耗，提升设备生产在硅片薄片化方面的兼容性。
高带速新型滚轮传输系统
晶洲配置的高带速传输系统，将滚轮跳动控制在0.1mm，同时搭配精准带液刻蚀滚轮，可以有效避免翻液及过刻现象，设备最高带速5.0米/分钟，并大幅降低了滚轮与轨道滑块在高速旋转条件下的磨损，避免摩擦产生的粉尘污染，提高了滚轮系统的使用寿命，彻底放开了6篮碱抛&RCA设备的产能掣肘；
整线高带速链式设备+6篮槽式设备的配置，大幅降低了湿法工序的单耗、能耗等，直接影响电池湿法工序环节的生产成本。
精细化、智能化动力水膜涂覆技术：
定制开发高精密水膜射流泵，无极控速控流，精密控制水膜量。匹配水膜泵的微压逆止阀，启停时利用逆止阀吸负压效应，滴液量少，控制水膜的稳定；二道水膜保护硅片上表面，减少翻液和气蚀影响，二道水膜独立排水机制，减少HF损耗，延长HF槽药液寿命。
独特的防带液串槽设计：
采用新型槽体结构，工艺兼容性强，可收集花篮70%的带液量，最大程度减少不同的药水串槽，避免药水交叉污染，降低单耗，提升药水使用寿命，在清洗能力、洁净度、工艺稳定性方面表现非常优秀。
分布式盘管循环系统：
晶洲专利第三代分布式盘管循环系统，使药水循环快速平稳，减少槽体上、中、下三层液面温差，改善了因循环和剧烈反应导致的花篮跑片现象，大幅度降低大尺寸硅片的粘片概率，在硅片外观、减重和反射率的均匀性方面表现优异。
与会专家认真听取了TOPCon电池新型湿法成套装备工艺介绍的报告，肯定了晶洲TOPCon电池湿法成套装备的创新性、新颖性，对该装备的技术向上兼容性、生命周期等进行了质询，并一一作出点评。
通过听取汇报、观看演示、讨论答疑和专业鉴定，最终一致认为晶洲TOPCon电池新型湿法成套装备切入了新能源装备的发展现状，基础工作扎实，在对未来发展的思路上定位准确，符合国家发展战略的思路，切合下游厂商实际有的放矢，有高度有落实，对配套设备、售后团队、装备升级等关键问题设计到位，高度肯定了晶洲装备研发团队的工作，对新技术、新产品的推广应用前景看好，希望晶洲装备继续深耕科研创新，加快新技术、新产品的研发力度，推动中国新能源装备更上新台阶。
接下来与会嘉宾前往车间现场观看产品演示，进行进一步交流探讨。在观看了车间现场的产品后，专家组及与会领导宣布本次新产品发布圆满成功！
苏州晶洲装备科技有限公司2011年成立于苏州常熟高新技术产业开发区辛庄工业园，业务范围集研发、设计、制造、销售与售后为一体，
来源：晶洲装备
原文始发于微信公众号（光伏产业通）：TOPCon电池湿法装备技术新突破
