非晶硅沉积工艺：主要指用CVD（化学气相沉积）的方式来镀本征非晶硅层、P型非晶硅层、N型非晶硅层，该步骤是实现优质异质结结构的关键，也是通过镀膜工艺取代了传统PERC工艺中的扩散工艺形成PN结的关键。
目前主要两种方式：HWCVD（热丝化学气相沉积）和PECVD（等离子体增强化学气相沉积）
热丝CVD：是利用分子在加热的金属丝上发生催化分解反应，并在基底表面发生沉积、聚合，从而形成薄膜。
PECVD：是使反应气体在辉光放电等离子体中受激分解生成具有高反应活性的物质，这些物质在基底表面上发生化学反应沉积生成薄膜。
PECVD与HWCVD的性能比较
以下为一些PECVD生产企业的相关业务介绍，排名不分先后，供大家参考。
苏州迈为科技股份有限公司于2010年9月成立，是一家集机械设计、电气研制、软件开发、精密制造于一体的高端装备制造商，公司面向太阳能光伏、显示、半导体三大行业，研发、制造、销售智能化高端装备。
主要产品包括全自动太阳能电池丝网印刷生产线、异质结高效电池制造整体解决方案、OLED柔性屏激光切割设备、Mini/Micro LED晶圆设备、半导体晶圆封装设备等。
公司主要产品太阳能电池丝网印刷生产线2016年-2021年国内市占率第一、2018年-2021年全球市占率第一，2020年荣获“制造业单项冠军产品”。
公司网站：https://www.maxwell-gp.com
上海理想万里晖薄膜设备有限公司前身是理想能源PECVD事业部，2012年经过拆分重组，于2013年完成注册。
公司主营太阳能、泛半导体和半导体高端PECVD装备，系列光伏和AMOLED显示等领域高端PECVD系列产品多次打破国外垄断、填补国内空白，是中国高端PECVD装备的优选供应商。
公司网站：https://www.idealenergy-wlh.com
拓荆科技股份有限公司成立于2010年4月，公司总部位于辽宁省沈阳市浑南区，并在北京、上海、海宁、美国成立了四家子公司。
公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。
目前，公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，已广泛应用于28nm及以上制程集成电路制造产线。
公司网站：http://www.sypiotech.cn
福建泉州钧石能源有限公司创立于2008年,是高端光伏装备、产品及技术服务提供商。
钧石能源(GS-SOLAR)拥有自主知识产权的PECVD、PVD等核心生产设备技术，主要设备PECVD、PVD、印刷机等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，采用大产能设计，适应各种国产化关键材料，并可在未来进行技术升级，为异质结电池GW级产业化提供了适用于多代异质结电池的通用制造平台。
公司网站：http://www.gs-solar.com
北京捷造光电技术有限公司成立于2010年，致力于真空应用技术的开发与产业化推广，在PVD（磁控溅射、有机及金属共蒸发、离子镀、RPD反应离子沉积等）、CVD（PECVD、LPCVD等）和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验，形成工艺研究设备、规模化产线设备系列化产品。
公司产品广泛应用于光伏、半导体、显示、纳米科技、化工、制药等领域，并拥有GW级光伏电池产线核心技术和设备制造经验。
公司网站：http://www.jiezaooe.com
营口金辰机械股份有限公司于2004年08月30日成立。
金辰股份是中国国家高新技术企业，专注于真空镀膜技术、自动化技术、设备智能化解决方案的创新型企业。金辰股份的高端智能装备广泛应用于新能源、新材料行业，并在全球范围内为客户提供行业智能制造解决方案。
在TOPCON高效电池和HJT高效电池PECVD设备方面取得重大突破。现已拥有核心技术专利500余项，其中发明专利243项。
公司网站：http://www.jinchencorp.com
INDEOtec成立于 2007 年，是一家专注于薄膜太阳能电池 PECVD 工艺设备研发、生产和销售的瑞士设备生产商，NDEOtec与诸多公立及私立研究与发展机构合作进行大量的研发项目。
在全球35个市 场营运，拥有33,000名专业员工，2018年销售净额为113亿瑞士法郎。
公司网站：http://www.dkshspe.com
TTC集团成立于2004年8月，一直致力于半导体制程设备，LCD制程设备，LED制程设备以及PSS设备的二手机台买卖。
公司网站：http://www.trust-t.com
梅耶博格（Meyer Burger）是一家瑞士的光伏制造公司，拥有金刚石线锯和工业 PERC 解决方案，太阳能组件的精密测量技术，非晶硅沉积设备，盒中盒式 S-Cube 等离子体反应器，钝化效果优，在 PECVD 领域保持着较强的技术领先性。
公司网站：https://www.meyerburger.com
Evatec作为历史悠久的瑞士半导体薄膜量产设备制造商，拥有在宽禁带半导体的强势技术积累和工业界合作的经验。公司致力于在先进封装，半导体，光电和光学的核心市场提供完整的生产解决方案。
与其他的PECVD或CVD系统相比，他们的PECVD工艺的运行温度较低，这带来了很多优势：概念灵活，可定制化，模组化的卡盘设计，可快速切换衬底尺寸，极高的薄膜纯度，优于标准平行板设计。
公司网站：https://evatecnet.com
以上为一些PECVD设备生产企业的相关业务介绍，排名不分先后，供大家参考。
| 序号 |
公司 |
| 1 |
迈为股份（苏州） |
| 2 |
理想万里晖（上海） |
| 3 |
拓荆科技（北京上海海宁） |
| 4 |
钧石能源（泉州） |
| 5 |
捷造光电（北京） |
| 6 |
金辰股份（辽宁营口） |
| 7 |
INDEOtec（瑞士） |
| 8 |
日本松下 |
| 9 |
梅耶博格（Meyer Burger） |
| 10 |
Evatec |
原文始发于微信公众号（光伏产业通）：光伏制造核心设备：PECVD生产企业10强
