PVD 磁控溅射为现时主流工艺:目前最常用于沉积 TCO 薄膜的方法是物理气相沉积(PVD)大类下 的磁控溅射(Sputtering)工艺。
此工艺的基本原理是在电磁场的作用下,被加速的气体高能粒子(Ar+) 轰击镀膜靶材,靶材表面的原子获得能量逸出表面后沉积到衬底(已完成非晶硅镀膜的电池片半成 品)表面生成氧化物薄膜。
以下为一些PVD生产企业的相关业务介绍,排名不分先后,供大家参考。
应用材料(Applied Materials)(美国)
应用材料公司是一家半导体和显示设备供应商。 应用材料公司创立于1967年,公司的PECVD 设备,在PVD市场份额从2018年的74%持续提升至2020年87%,处于绝对龙头地位。
1984年在北京设立了中国客服中心,成为较早进入中国的外资芯片制造设备公司。通过长期参与中国的高科技制造业,应用材料公司为半导体、先进显示以及太阳能光伏制造行业提供设备与服务。
公司网站:https://www.appliedmaterials.com/
Evatec作为历史悠久的瑞士半导体薄膜量产设备制造商,拥有在宽禁带半导体的强势技术积累和工业界合作的经验以及Know-how。致力于在先进封装,半导体,光电和光学的核心市场提供完整的生产解决方案。
与其他的PECVD或CVD系统相比,他们的PECVD工艺的运行温度较低,这带来了很多优势:概念灵活,可定制化,模组化的卡盘设计,可快速切换衬底尺寸,极高的薄膜纯度,优于标准平行板设计。
公司网站:https://evatecnet.com/
梅耶博格(Meyer Burger)是一家瑞士的光伏制造公司,拥有金刚石线锯和工业 PERC 解决方案到太阳能组件的精密测量技术。
非晶硅沉积设备,盒中盒式 S-Cube 等离子体反应器,钝化效果优,在 PECVD 领域保持着较强的技术领先性。
公司网站:https://www.meyerburger.com/
本真空技术株式会社(ULVAC JAPAN LTD),总部设在日本茅崎,是日本上市公司,于1952年8月23日由日本生命保险公司、松下电器产业股份有限公司等6家共同投资成立。
它是世界知名的真空技术企业,也是日本最大的真空企业。年产值达1200亿日元,其产品遍及全世界各地近100多个国家和地区。已有800多台套真空预冷保鲜设备和真空冷冻干燥设备应用于日本本土。
公司网站:https://www.ulvac.com/
冯·阿登纳 成立于1991年,是从位于德国德累斯顿的曼弗雷德•冯•阿登纳研究所分离出来的。凭借超过 50 年的电子束工艺经验以及 40 余年的磁控管技术能力, 冯·阿登纳成为薄膜光伏领域玻璃镀膜系统和设备的领先供应商之一。
冯· 阿登纳为玻璃、晶片、金属带和聚合物薄膜等材料上的真空镀膜开发和生产工业设备。这些镀膜赋予表面新的功能属性,并且根据不同的应用环境,厚度可在一纳米和几微米之间。
公司网站:https://www.vonardenne.biz/
德国singulus科技集团致力于为高效的生产流程开发创新环保的技术,不断加强自身的创新力和竞争力。作为全球唯一的设备制造商,集团为容量约为100GB三层蓝光光盘提供先进的制造技术。
在太阳能领域,德国singulus科技集团是公认的晶体电池和薄膜电池技术的先进设备及工艺供应商。集团致力于不断提高太阳能电池的效率,并降低生产成本,是您在新能源领域的合作伙伴。
公司网站:https://www.singulus.com/zh-hant/
北方华创科技集团股份有限公司是由北京七星华创电子股份有限公司和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司战略重组而成,是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。
北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务,为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有四大产业制造基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
公司网站:https://www.naura.com/
福建泉州钧石能源有限公司 钧石能源(GS-SOLAR)创立于2008年,是高端光伏装备、产品及技术服务提供商。
拥有自主知识产权的PECVD、PVD等核心生产设备技术,主要设备PECVD、PVD、印刷机等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片,采用大产能设计,适应各种国产化关键材料,并可在未来进行技术升级,为异质结电池GW级产业化提供了适用于多代异质结电池的通用制造平台。
公司网站:http://www.gs-solar.com/project-development.php
以上为一些PVD设备生产企业的相关业务介绍,排名不分先后,供大家参考。
序号 |
公司 |
1 |
应用材料(Applied Materials) |
2 |
Evatec |
3 |
梅耶博格(Meyer Burger) |
4 |
Ulvac |
5 |
德国冯阿登纳 |
6 |
新格拉斯 |
7 |
北方华创(002371) |
8 |
钧石 |
原文始发于微信公众号(光伏产业通):光伏制造关键设备:PVD生产企业8强